光氧催化廢氣處理設備技術利用光激發氧化將O2、H2O2等氧化劑與光輻射相結合。所用光主要為紫外光，包括uv-H2O2、uv-O2等工藝，可以用于處理污水中CHCl3、CCl4、多氯聯苯等難降解物質。另外，在有紫外光的Fenton體系中，紫外光與鐵離子之間存在著協同效應，使H2O2分解產生羥基自由基的速率大大加快，促進有機物的氧化去除。應用于工業廢氣治理中的紫外線波長為154nm-254nm，波長越短能量越大。在這個波長區域中，由于154nm-185nm的波長相對比較短所以“殺傷”的空間范圍也較小。而185nm-254nm盡管波長較長但是殺傷空間范圍相對較大。

光氧催化廢氣處理設備主要利用特制的高能高臭氧UV紫外線光束照射廢氣，裂解工業廢氣如：氨、三甲胺、硫化氫、甲硫氫、甲硫醇、甲硫醚、乙酸丁酯、乙酸乙酯、二硫化碳和苯乙烯、硫化物H2S,VOC類、苯、甲苯、二甲苯的分子鏈結構，使有機或無機高分子惡臭化合物的分子鏈在高能紫外線的光束的照射下降解轉變成低分子化合物，如CO2和H2O等。利用高能高臭氧UV紫外線光束分解空氣中的氧分子及水分子產生游離氧（活性氧）和OH自由基，因游離氧和所攜正負電子不平衡所以需與氧分子結合，進而產生臭氧。UV+O2---O_+O*(活性氧)+O2---O3（臭氧），眾所周知臭氧對有機物具有極強的氧化作用，對工業廢氣及其它異味有立竿見影的清除效果.